掃描電鏡(SEM)利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡對二次電子、背散射電子的采集，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像，可得到有關物質微觀形貌的信息。掃描電鏡有較高的放大倍數，20-20萬倍之間連續可調;有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;試樣制備簡單，不含水的樣本可以不用固定。?
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